• VCSEL & EEL wet thermal oxidation

    为下一代用于数据通信的高性能VCSEL/EEL产品做好准备
     

    ALOXTEC 的产品组合涵盖了从大学洁净室到大型晶圆厂的整个生产流程。

     

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历经15年研发的专利成熟技术​

Consumer Electronics & Mobile Devices VCSEL

实时原位光学监测

Wafers

自动氧化直径控制，精度可达3微米

Wafer in Aloxtec's ALOX 1.4

6英寸晶圆上的氧化物光孔均匀度 σ < 0.3 µm *

Wafer

批次间偏差 σ < 0.05 μm *

探索我们ALOXTEC设备的新版本

 

ALOX GEN1.4L Manual & ALOX GEN1.4L Auto

ALOX GEN1.4 规格

  • 晶圆尺寸：3英寸至8英寸
  • 选择性氧化工艺
  • 6英寸晶圆上的最小-最大孔径小于±0.3微米（采用UniformPerf©技术）
  • 连续运行偏差直至 σ < 0.1 μm（使用 UniformPerf©）
  • 加湿气体的精确流量控制：0.6 至 30 克/小时
  • 真空环境：绝对压力 <10 至 800 毫巴
  • 稳定温度 350°C 至 600°C
  • 对机器的全面控制/监督
  • 工艺
  • 目标孔径台面氧化自动终点监测软件

 

* 对于常见结果，具体取决于晶圆

氧化过程随时间变化的情况

VCSEL Oxidation in a Aloxtec's ALOX 1.4 - step 1
VCSEL Oxidation in a Aloxtec's ALOX 1.4 - step 2
VCSEL Oxidation in a Aloxtec's ALOX 1.4 - step 3
VCSEL Oxidation in a Aloxtec's ALOX 1.4 - step 4

应用

ALOX 炉具为光子学制造商提供从研发到大规模生产的全方位支持。

VCSEL & EEL wet thermal oxidation

VCSEL/EEL

垂直腔面发射激光器（VCSEL/EEL）是一种半导体激光二极管。VCSEL/EEL 的应用领域包括光纤通信、精密传感、电脑鼠标和激光打印机。

激光二极管

激光二极管是一种半导体器件。其应用范围广泛，包括光纤通信、条形码扫描仪、激光笔、激光打印、激光扫描以及光束照明。

波导

波导是一种能够引导光谱中电磁波的光学结构。广泛应用于：光纤通信、光子集成电路和光学干涉仪。

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